20-80 L/Min Zentrifugal elektrische Kühlmittelpumpe für Ätzmaschine Flüssigkeit Kühlung
Grundlegende Eigenschaften
Herkunftsort:
China
Markenbezeichnung:
Bextreme Shell
Zertifizierung:
CE
Modellnummer:
Die in Absatz 1 Buchstabe b genannten Angaben sind zu beachten.
Immobilienhandel
Mindestbestellmenge:
1
Preis:
Verhandelbar
Zahlungsbedingungen:
T/T, Western Union
Versorgungsfähigkeit:
ocs 1000/Monat
Produktübersicht
24-V-DC-Kreiselpumpe zur Kühlung der Ätzmaschine. Liefert einen Durchfluss von 20–80 l/min, 20 m Förderhöhe mit PWM-Geschwindigkeitsregelung. Schutzart IP68, 18 Monate Garantie und eine Lebensdauer von über 20.000 Stunden. Mehrere Schutzvorrichtungen gewährleisten einen zuverlässigen Betrieb in rauen Umgebungen.
Produktdetails
Hervorheben:
80L/Min elektrische Kühlmittelpumpe
,20 L/Min elektrische Kühlmittelpumpe
,Zentrifugalwasserpumpe ohne Bürsten
Product Name:
Elektrische Kühlmittelpumpe
Pumptype:
Zentrifugal
Standard Or Nonstandard:
Standard
Voltage:
24V DC
Warranty:
18 Monate
Flowrate:
20–80 l/min
Material:
Aluminiumlegierung
Head:
2-20M
Fuel:
Elektrisch
Produkt-Beschreibung
Elektrische Kühlmittelpumpe (Modell: OWP-BL43-426C)
Ideal für die Flüssigkeitskühlung der Ätzermaschine
Technische Spezifikation
| Kategorie der Parameter | Einzelheiten |
|---|---|
| Stromversorgung | 24VDC (mit einem Arbeitsbereich von 18-32VDC); Nennleistung: 240W |
| Strömungs- und Heberleistung | Nennstrom: 2400L/h bei 17M Kopf; Maximalstrom: 5000L/h; Maximalhebel: 20M |
| Kompatible Medien | 50-60% Glykol-Wasser-Gemisch, dielektrisches Öl, Mineralöl, elektronische fluorierte Lösung usw. |
| Verbindung und Steuerung | Flansch-Schnellanschluss; Geschwindigkeitsregelung per PWM; Fehlerrückkopplungssignal verfügbar |
| Schutz und Langlebigkeit | IP68-Klassifizierung; Lebensdauer über 20000 Stunden; Umkehrpolarität, Trockenlauf, Überspannung/Strom, Überlastung, Übertemperaturschutz |
| Betriebsumfeld | Arbeitsumgebungstemperatur: -40 °C bis +85 °C (-40 °F bis +185 °F); Luftfeuchtigkeit ≤ 90% |
| Weitere Dimensionen | Anschlussmodell: AMP282106-1 (mit Stecker AMP282088-1 ausgestattet); Düsegröße: 50,5 mm (Flanke) |
Anwendungen bei der Flüssigkeitskühlung von Ätzmaschinen
Diese elektrische Kühlmittelpumpe OWP-BL43-426C ist speziell für Flüssigkeitskühlsysteme in Ätzmaschinen entwickelt und dient als kritische Komponente für die Aufrechterhaltung stabiler Ätzvorgänge. Etching machines generate substantial heat during plasma etching processes—driven by high-frequency electric fields and intense ion bombardment—particularly affecting key components like the etching head and reaction chamberUnkontrollierte Hitze kann zu instabilen Ätzraten, möglichen Ausrüstungsschäden und einer beeinträchtigten Produktqualität führen.
Die Pumpe löst diese Herausforderungen durch effiziente Zirkulation von Kühlmitteln (z. B. 50-60% Glykol-Wasser oder elektronische fluorierte Lösung) durch den Kühlkreislauf der Ätzmaschine.Es sorgt für eine gleichbleibende Wärmeableitung aus dem elektrostatischen Schub (ESC) und der Reaktionskammer: Durch die Aufrechterhaltung des ESC bei präzisen Temperaturen wird eine gleichmäßige Ätzgeschwindigkeit über die Wafer hinweg gewährleistet.durch Stabilisierung der KammerwandtemperaturenMit einer hohen Durchflussrate (bis zu 5000 L/h) und einem maximalen Hubkopf (20 M) ermöglicht die Pumpe eine schnelle Wärmeübertragung auch in komplexen Kühlschlägen.Während die PWM-Geschwindigkeitsregelung Echtzeit-Anpassungen ermöglicht, um der dynamischen Wärmeleistung der Ätzermaschine zu entsprechen, um eine optimale Kühlleistung in allen Betriebsstadien zu gewährleisten.
Wettbewerbsvorteile
- Zuverlässige Schutzmechanismen:Ausgestattet mit mehreren Schutzmaßnahmen, einschließlich Umkehrpolarität, Trockenlauf, Überspannung/Strom, Überlastung und Temperaturschutz, um Schäden an der Pumpe zu vermeiden und einen kontinuierlichen Betrieb zu gewährleisten,kritisch für ununterbrochene Ätzverfahren.
- Effizientes und dauerhaftes Design:Mit einem hochwirksamen bürstenlosen Gleichstrommotor, der den Stromverbrauch reduziert und gleichzeitig eine längere Lebensdauer (über 20.000 Stunden) bietet.Die magnetische Kraftübertragung (Schildpumpenstruktur) verbessert die Lecksicherheit, der die Reinheit des Kühlmediums schützt.
- Weite Anpassungsfähigkeit:Mit einer IP68-Bewertung und einem Betriebstemperaturbereich von -40 °C bis +85 °C funktioniert es zuverlässig in rauen industriellen Umgebungen, in denen in der Regel Ätzmaschinen eingesetzt werden.Die Schnellanschlussflansche vereinfacht die Montage und Wartung, wodurch Ausfallzeiten minimiert werden.
- Genaue Steuerung:Die Steuerung des konstanten Durchflusses und die Drehzahlregelung durch PWM ermöglichen eine präzise Einstellung der Kühlkapazität.Ausrichtung auf die strengen Temperaturanforderungen von Ätzverfahren zur Verbesserung des Halbleiterproduktertrags.
Technische Dokumentation
PWM-Geschwindigkeitsmodus und Fehlerrückkopplung
Leistungskurve
Abmessungsdiagramm
Technische Spezifikation
Mr. Eric Peng
Sales Engineer
- E-Mail: service@bextremeshell.com
- Telefone: +86 18152874275
- WhatsApp: 8618152874275
-
Wechat:
+86 18152874275
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