Precisie PWM Elektrische Koelvloeistofpomp OWP-BL43-450T: Betrouwbare Warmteafvoer voor Apparatuur voor Halfgeleiderwaferproductie

Precision PWM Electric Coolant Pump OWP-BL43-450T: betrouwbare warmteafvoer voor apparatuur voor de fabricage van halfgeleiderwafers

De OWP-BL43-450T Electric Coolant Pump is een hoogwaardige thermische beheersoplossing die is ontworpen voor warmteafvoer in apparatuur voor de fabricage van halfgeleiderwafers.Gebouwd met permanente magneet borstelloze technologie, PWM-snelheidsregeling en IP68 volledig afgesloten bescherming,Deze pomp zorgt voor een stabiele en verontreinigingsvrije vloeistofcirculatie om te voldoen aan de ultraprecise koelvereisten van halfgeleiderproductieprocessenHet compacte ontwerp, de lage geluidsdruk en de robuuste foutvertraagzaamheid maken het ideaal voor de schone, betrouwbare omgevingen van waferfabrieken,het garanderen van een consistente prestatie van de apparatuur en het handhaven van de kwaliteit van de productie van wafers.

Technische specificaties

Hoofdstroomcurve

Snelheidscontrole en foutfeedbackdiagram

Belangrijkste technische voordelen

• Ontwerp van de gesloten stuwraketDe met precisiebewerking bewerkte gesloten roer minimaliseert de interne fluïden turbulentie en lekken.het bereiken van een hoog pompefficiëntie, met behoud van het bedrijfsgeluid ≤ 60 dB ◄ dat cruciaal is voor het handhaven van stabiele omstandigheden in geluidsgevoelige halfgeleiderschone ruimtes.
• Permanente magneetborstelloze constructie: Combineert een compacte voetafdruk met een laag stroomverbruik, past naadloos in ruimtebeperkte waferfabricageapparatuur en vermindert het energieverbruik in 24/7 productieomgevingen.
• Ultra-long-life schachtassemblage: maakt gebruik van hoog slijtvastrijdige wrijvingspare materialen voor het as systeem, ondersteunt meer dan 20.000 uur aanhoudende werking om te voldoen aan de lange onderhoudscycli van halfgeleiderapparatuur.
• Centrifuge en afgeschermde structuur: isoleert de motor van het koelmiddel om verontreiniging door deeltjes en het lekken van vloeistof te voorkomen,bescherming van gevoelige waferverwerkingsonderdelen tegen beschadiging en naleving van de cleanroomnormen.
• PWM-snelheidscontrole: maakt nauwkeurige stroomstroomregeling mogelijk via PWM-signalen,een dynamische matching van de koelcapaciteit met de warmteafgifte van de waferfabricatieprocessen mogelijk te maken·het optimaliseren van de thermische stabiliteit tijdens kritieke productiestappen.
• Uitgebreide bescherming en foutfeedback: uitgerust met omgekeerde polariteit, overspanning, overstroom, droogloop en overtemperatuurbescherming, plus hoog/laag niveau foutfeedback,het waarborgen van de veiligheid van het systeem en het mogelijk maken van proactief onderhoud om de stilstand van de productie tot een minimum te beperken.

Toepassing in het koelen van apparatuur voor de vervaardiging van halfgeleiderwafels

De OWP-BL43-450T elektrische koelmiddelpomp is specifiek geoptimaliseerd voor warmteafvoer in apparatuur voor de vervaardiging van halfgeleiderwafers,waar een nauwkeurige temperatuurregeling rechtstreeks van invloed is op de waferopbrengst en -prestatiesDe nominale doorstroming van 6000L/h (bij 8M hoofd) en de maximale doorstroming van 9000L/h zorgen voor een efficiënte circulatie van compatibele koelmiddelen, waaronder glycol-watermengsels, dielectrolie,en elektronische gefluoreerde oplossingen om de hitte van de lithografie te verdrijvenDe 24VDC breedspanningsinvoer (18-32VDC) is afgestemd op de power systemen van de halfgeleiderfabriek,Terwijl de 38 mm uitlaatdiameter de overdracht van grote hoeveelheden vloeistof vergemakkelijkt voor een effectieve warmtewisselingDe PWM-snelheidsregeling stelt de pomp in staat zich aan te passen aan verschillende thermische belastingen tijdens de waferverwerking, waarbij constante temperaturen binnen strakke toleranties worden gehandhaafd.De waterdichtheid IP68 en het temperatuurbereik van -40°C tot 85°C zorgen voor betrouwbaarheid in gecontroleerde fabrieksomgevingenAls een kernkoelcomponent is het mogelijk om de afbrekingssignaal te gebruiken voor het controleren van de afbrekingen en de afbrekingssignaal voor het controleren van de afbreken.de OWP-BL43-450T ondersteunt de veeleisende thermische beheersbehoeften van apparatuur voor de fabricage van halfgeleiderwafers, wat bijdraagt tot een stabiele productie en een kwalitatief hoogstaande waferproductie.

Dimensionele tekeningen