정밀 PWM 전기 냉각물 펌프 OWP-BL43-450T: 반도체 웨이퍼 제조 장비에 대한 신뢰할 수있는 열 분산
제품 상세정보
정밀 PWM 전기 냉각수 펌프 OWP-BL43-450T: 반도체 웨이퍼 제조 장비의 안정적인 방열
OWP-BL43-450T 전기 냉각수 펌프는 반도체 웨이퍼 제조 장비의 방열을 위한 고성능 열 관리 솔루션입니다. 영구 자석 브러시리스 기술, PWM 속도 조절, IP68 완전 밀폐 보호 기능으로 제작된 이 펌프는 안정적이고 오염 없는 유체 순환을 제공하여 반도체 제조 공정의 초정밀 냉각 요구 사항을 충족합니다. 컴팩트한 디자인, 저소음 작동, 강력한 내결함성으로 웨이퍼 팹의 깨끗하고 높은 신뢰성이 요구되는 환경에 이상적이며, 일관된 장비 성능을 보장하고 웨이퍼 생산 품질을 유지합니다.
기술 사양
| 매개변수 | 세부 정보 |
|---|---|
| 전원 입력 | 24VDC (18-32VDC) |
| 정격 전력 | 250W |
| 정격 유량 | 6000L/H @ H=8M |
| 최대 유량 | 9000L/H |
| 최대 양정 | 11M |
| 호환 매체 | 글리콜 (50-60%) + 물, 절연유, 전자 불소 용액 |
| 매체 온도 범위 | -40°C ~ 85°C |
| 출구 직경 | 38mm |
| 속도 조절 | PWM |
| 고장 피드백 신호 | 고/저 레벨 |
| IP 등급 | IP68 |
| 소음 수준 | ≤60dB |
| 수명 | >20000 시간 |
양정-유량 곡선
속도 제어 및 고장 피드백 차트
핵심 기술 장점
- 밀폐형 임펠러 설계: 정밀 가공된 밀폐형 임펠러는 내부 유체 난류 및 누출을 최소화하여 높은 펌핑 효율을 달성하는 동시에 작동 소음을 ≤60dB로 유지합니다. 이는 소음에 민감한 반도체 클린룸의 안정적인 환경을 유지하는 데 중요합니다.
- 영구 자석 브러시리스 구조: 컴팩트한 설치 공간과 낮은 전력 소비를 결합하여 공간 제약이 있는 웨이퍼 제조 장비에 완벽하게 통합되며 24/7 제조 환경의 에너지 소비를 줄입니다.
- 초장수명 샤프트 어셈블리: 내마모성이 높은 마찰 쌍 재료를 샤프트 시스템에 사용하여 20,000시간 이상의 연속 작동을 지원하며 반도체 장비의 긴 유지보수 주기에 맞춰집니다.
- 원심 및 차폐 구조: 모터를 냉각 매체와 분리하여 입자 오염 및 유체 누출을 방지하고 민감한 웨이퍼 처리 부품을 손상으로부터 보호하며 클린룸 표준 준수를 보장합니다.
- PWM 듀티 사이클 속도 제어: PWM 신호를 통해 정밀한 유량 조절을 가능하게 하여 웨이퍼 제조 공정의 열 출력에 냉각 용량을 동적으로 일치시킵니다. 중요한 제조 단계 동안 열 안정성을 최적화합니다.
- 포괄적인 보호 및 고장 피드백: 역극성, 과전압, 과전류, 건조 운전, 과열 보호 기능과 고/저 레벨 고장 피드백을 갖추고 있어 시스템 안전을 보장하고 사전 유지보수를 통해 생산 중단 시간을 최소화합니다.
반도체 웨이퍼 제조 장비 냉각 적용
OWP-BL43-450T 전기 냉각수 펌프는 웨이퍼 수율 및 성능에 직접적인 영향을 미치는 정밀한 온도 제어가 요구되는 반도체 웨이퍼 제조 장비의 방열을 위해 특별히 최적화되었습니다. 6000L/H의 정격 유량(8M 양정 기준)과 9000L/H의 최대 유량은 리소그래피, 에칭, 증착 장비의 열을 방출하기 위해 글리콜-물 혼합물, 절연유, 전자 불소 용액을 포함한 호환되는 냉각 매체의 효율적인 순환을 보장합니다. 24VDC의 넓은 전압 입력(18-32VDC)은 반도체 공장 전력 시스템과 일치하며, 38mm의 출구 직경은 효과적인 열 교환을 위한 대용량 유체 이송을 용이하게 합니다. PWM 속도 조절을 통해 펌프는 웨이퍼 처리 중 다양한 열 부하에 적응하여 엄격한 허용 오차 내에서 일관된 온도를 유지할 수 있습니다. IP68 방수 등급과 -40°C ~ 85°C의 온도 범위는 제어된 팹 환경에서 신뢰성을 보장하며, 고장 피드백 신호는 공장 모니터링 시스템과의 통합을 가능하게 합니다. 핵심 냉각 부품으로서 OWP-BL43-450T는 반도체 웨이퍼 제조 장비의 까다로운 열 관리 요구 사항을 지원하여 안정적인 생산과 고품질 웨이퍼 출하에 기여합니다.
치수 도면
Mr. Eric Peng
Sales Engineer
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OWP-BL43-300 고정 속도 워터 펌프는 AI 장비 및 슈퍼컴퓨터의 대규모 GPU 냉각을 위해 100L/분 유량을 제공합니다. 250W 브러시리스 DC 모터, IP68 등급, -40~85°C 작동 범위, 20,000시간의 서비스 수명(18개월 보증 포함)이 특징입니다. -
데이터 센터 AI 클러스터의 대규모 GPU 냉각용 40L/min 냉각 용액 순환 펌프
데이터 센터, AI 클러스터 및 HPC의 대규모 GPU 냉각을 위한 고성능 240W 전기 냉각수 펌프입니다. 효율적인 열 관리를 위한 40L/분 유량, IP68 등급, -40~85°C 작동 범위 및 PWM 속도 조절이 특징입니다. -
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e-덤프트럭 배터리 열 관리를 위한 24V 전자 워터 펌프입니다. BLDC 모터, IP68 등급, -40~85°C 작동 범위, 20,000시간 이상의 수명이 특징입니다. PWM 속도 제어 및 포괄적인 보호 시스템을 통해 열악한 광산/건설 환경에서도 안정적인 냉각을 보장합니다.
