ปั๊มน้ำหล่อเย็นไฟฟ้า PWM ความแม่นยำ OWP-BL43-450T: การระบายความร้อนที่เชื่อถือได้สำหรับอุปกรณ์การผลิตแผ่นเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์

ปั๊มน้ำหล่อเย็นไฟฟ้า PWM ความแม่นยำ OWP-BL43-450T: การระบายความร้อนที่เชื่อถือได้สำหรับอุปกรณ์การผลิตแผ่นเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์

ปั๊มน้ำหล่อเย็นไฟฟ้า OWP-BL43-450T เป็นโซลูชันการจัดการความร้อนประสิทธิภาพสูงที่ออกแบบมาสำหรับการระบายความร้อนในอุปกรณ์การผลิตแผ่นเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ สร้างขึ้นด้วยเทคโนโลยีมอเตอร์ไร้แปรงถ่านแม่เหล็กถาวร การควบคุมความเร็ว PWM และการป้องกันแบบปิดสนิทระดับ IP68 ปั๊มนี้ให้การไหลเวียนของของเหลวที่เสถียรและปราศจากสิ่งปนเปื้อน เพื่อตอบสนองความต้องการการระบายความร้อนที่แม่นยำเป็นพิเศษของกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ การออกแบบที่กะทัดรัด การทำงานที่เงียบ และความทนทานต่อข้อผิดพลาดที่แข็งแกร่ง ทำให้เหมาะสำหรับสภาพแวดล้อมที่สะอาดและมีความน่าเชื่อถือสูงของโรงงานผลิตเวเฟอร์ เพื่อให้มั่นใจถึงประสิทธิภาพของอุปกรณ์ที่สม่ำเสมอและรักษาคุณภาพการผลิตเวเฟอร์

ข้อมูลจำเพาะทางเทคนิค

กราฟแรงดัน-อัตราการไหล

แผนภูมิการควบคุมความเร็วและการตอบรับข้อผิดพลาด

ข้อได้เปรียบทางเทคนิคหลัก

• การออกแบบใบพัดแบบปิด: ใบพัดแบบปิดที่ผลิตด้วยความแม่นยำช่วยลดการไหลวนภายในและการรั่วไหลของของเหลว ทำให้ได้ประสิทธิภาพการปั๊มสูง ในขณะที่รักษาเสียงรบกวนขณะทำงานไว้ที่ ≤60dB ซึ่งมีความสำคัญอย่างยิ่งต่อการรักษาเสถียรภาพในห้องคลีนรูมเซมิคอนดักเตอร์ที่ไวต่อเสียง
• โครงสร้างมอเตอร์ไร้แปรงถ่านแม่เหล็กถาวร: ผสมผสานขนาดที่กะทัดรัดกับการใช้พลังงานต่ำ เหมาะอย่างยิ่งกับอุปกรณ์การผลิตแผ่นเวเฟอร์ที่มีพื้นที่จำกัด และลดการใช้พลังงานในสภาพแวดล้อมการผลิตแบบ 24/7
• ชุดเพลาอายุการใช้งานยาวนานพิเศษ: ใช้วัสดุคู่เสียดสีที่มีความทนทานต่อการสึกหรอสูงสำหรับระบบเพลา รองรับการทำงานต่อเนื่องกว่า 20,000 ชั่วโมง เพื่อให้สอดคล้องกับรอบการบำรุงรักษาที่ยาวนานของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์
• โครงสร้างแบบแรงเหวี่ยงหนีศูนย์กลางและแบบมีฉนวนป้องกัน: แยกมอเตอร์ออกจากสารหล่อเย็นเพื่อป้องกันการปนเปื้อนของอนุภาคและการรั่วไหลของของเหลว ปกป้องส่วนประกอบการประมวลผลเวเฟอร์ที่ละเอียดอ่อนจากความเสียหาย และรับประกันการปฏิบัติตามมาตรฐานห้องคลีนรูม
• การควบคุมความเร็วรอบการทำงาน PWM: ช่วยให้สามารถปรับอัตราการไหลได้อย่างแม่นยำผ่านสัญญาณ PWM ทำให้สามารถจับคู่ความสามารถในการระบายความร้อนกับความร้อนที่ปล่อยออกมาจากกระบวนการผลิตแผ่นเวเฟอร์ได้อย่างไดนามิก ซึ่งเป็นการเพิ่มประสิทธิภาพเสถียรภาพทางความร้อนในระหว่างขั้นตอนการผลิตที่สำคัญ
• การป้องกันที่ครอบคลุมและการตอบรับข้อผิดพลาด: มาพร้อมกับการป้องกันขั้วย้อนกลับ แรงดันเกิน กระแสเกิน การทำงานแห้ง และอุณหภูมิเกิน พร้อมการตอบรับข้อผิดพลาดระดับสูง/ต่ำ เพื่อให้มั่นใจในความปลอดภัยของระบบและเปิดใช้งานการบำรุงรักษาเชิงรุกเพื่อลดเวลาหยุดการผลิตให้น้อยที่สุด

การใช้งานในการระบายความร้อนอุปกรณ์การผลิตแผ่นเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์

ปั๊มน้ำหล่อเย็นไฟฟ้า OWP-BL43-450T ได้รับการปรับให้เหมาะสมเป็นพิเศษสำหรับการระบายความร้อนในอุปกรณ์การผลิตแผ่นเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ ซึ่งการควบคุมอุณหภูมิที่แม่นยำส่งผลโดยตรงต่อผลผลิตและประสิทธิภาพของเวเฟอร์ อัตราการไหลพิกัด 6000 ลิตร/ชั่วโมง (ที่แรงดัน 8 เมตร) และอัตราการไหลสูงสุด 9000 ลิตร/ชั่วโมง ช่วยให้มั่นใจได้ถึงการไหลเวียนของสารหล่อเย็นที่เข้ากันได้อย่างมีประสิทธิภาพ ซึ่งรวมถึงส่วนผสมไกลคอล-น้ำ น้ำมันฉนวนไฟฟ้า และสารละลายฟลูออริเนตอิเล็กทรอนิกส์ เพื่อระบายความร้อนจากเครื่องมือลิโธกราฟี การกัด และการเคลือบ อินพุตแรงดันไฟฟ้ากว้าง 24VDC (18-32VDC) สอดคล้องกับระบบไฟฟ้าของโรงงานเซมิคอนดักเตอร์ ในขณะที่เส้นผ่านศูนย์กลางทางออก 38 มม. ช่วยอำนวยความสะดวกในการถ่ายโอนของเหลวปริมาณมากเพื่อการแลกเปลี่ยนความร้อนที่มีประสิทธิภาพ การควบคุมความเร็ว PWM ช่วยให้ปั๊มสามารถปรับให้เข้ากับภาระความร้อนที่แตกต่างกันในระหว่างกระบวนการผลิตแผ่นเวเฟอร์ รักษาอุณหภูมิให้คงที่ภายในค่าความคลาดเคลื่อนที่เข้มงวด ระดับการกันน้ำ IP68 และช่วงอุณหภูมิ -40°C ถึง 85°C รับประกันความน่าเชื่อถือในสภาพแวดล้อมโรงงานที่มีการควบคุม ในขณะที่สัญญาณตอบรับข้อผิดพลาดช่วยให้สามารถรวมเข้ากับระบบตรวจสอบของโรงงานได้ ในฐานะส่วนประกอบการระบายความร้อนหลัก OWP-BL43-450T รองรับความต้องการการจัดการความร้อนที่เข้มงวดของอุปกรณ์การผลิตแผ่นเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ ซึ่งมีส่วนช่วยในการผลิตที่เสถียรและผลผลิตเวเฟอร์คุณภาพสูง

ภาพวาดมิติ