Pompes de refroidissement électriques PWM de précision OWP-BL43-450T: dissipation de chaleur fiable pour les équipements de fabrication de plaquettes à semi-conducteurs

Pompes de refroidissement électriques PWM de précision OWP-BL43-450T: dissipation de chaleur fiable pour les équipements de fabrication de plaquettes à semi-conducteurs

La pompe à liquide de refroidissement électrique OWP-BL43-450T est une solution de gestion thermique de haute performance conçue pour la dissipation de chaleur dans les équipements de fabrication de plaquettes à semi-conducteurs.Construit avec une technologie sans pinceau à aimants permanents, régulation de la vitesse PWM et protection IP68 entièrement scellée,cette pompe assure une circulation stable et exempte de contaminants pour répondre aux exigences de refroidissement ultra-précis des procédés de fabrication de semi-conducteursSa conception compacte, son fonctionnement à faible bruit et sa tolérance à la défaillance robuste le rendent idéal pour les environnements propres et fiables des usines de plaquettes,assurer une performance constante de l'équipement et maintenir la qualité de la production de plaquettes.

Spécifications techniques

Curve de débit de tête

Tableau de contrôle de la vitesse et de rétroaction des défauts

Principaux avantages techniques

• Conception de l'impulseur fermé: La roue fermée à usinage de précision minimise les turbulences et les fuites du fluide interne,atteindre une efficacité de pompage élevée tout en maintenant le bruit de fonctionnement ≤ 60 dB, ce qui est essentiel pour maintenir des conditions stables dans les salles blanches de semi-conducteurs sensibles au bruit.
• Construction sans pinceau à aimants permanents: Combine une empreinte compacte avec une faible consommation d'énergie, s'intègre parfaitement dans des équipements de fabrication de plaquettes à espace restreint et réduit la consommation d'énergie dans des environnements de fabrication 24/7.
• Assemblage de puits ultra-longue durée de vie: Utilise des matériaux à paire de frottement à haute résistance à l'usure pour le système d'arbre, prenant en charge plus de 20 000 heures de fonctionnement continu pour s'aligner sur les longs cycles de maintenance des équipements à semi-conducteurs.
• Structure centrifuge et protégée: isole le moteur du milieu de refroidissement pour éviter la contamination par les particules et les fuites de liquide,protéger les composants sensibles du traitement des plaquettes contre les dommages et assurer le respect des normes des salles blanches.
• Contrôle de la vitesse du cycle de travail PWM: permet un réglage précis du débit par des signaux PWM,permettant une correspondance dynamique de la capacité de refroidissement à la puissance thermique des procédés de fabrication des plaquettes ̇ optimisation de la stabilité thermique pendant les étapes critiques de fabrication.
• Protection complète et rétroaction des défauts: équipé d'une polarité inverse, de surtension, de surcourant, de protection contre le fonctionnement à sec et contre la surtempérature, ainsi que d'une rétroaction de défaut de haut/bas niveau,assurer la sécurité du système et permettre une maintenance proactive afin de minimiser les temps d'arrêt de la production.

Application dans le refroidissement des équipements de fabrication de plaquettes à semi-conducteurs

La pompe à liquide de refroidissement électrique OWP-BL43-450T est spécialement optimisée pour la dissipation de chaleur dans les équipements de fabrication de plaquettes à semi-conducteurs,où un contrôle précis de la température a une incidence directe sur le rendement et les performances des plaquettesSon débit nominal de 6000 L/h (à 8 M de tête) et son débit maximal de 9000 L/h assurent une circulation efficace des milieux de refroidissement compatibles, y compris les mélanges glycol-eau, l'huile diélectrique, le gaz de schiste, le gaz de schiste, le gaz de schiste, le gaz de schiste, etc.et des solutions fluorées électroniques pour dissiper la chaleur de la lithographieL'entrée de tension large 24VDC (18-32VDC) s'aligne avec les systèmes d'alimentation des usines de semi-conducteurs,tandis que le diamètre de sortie de 38 mm facilite le transfert de fluide de grand volume pour un échange de chaleur efficaceLa régulation de la vitesse PWM permet à la pompe de s'adapter à des charges thermiques variables pendant le traitement des plaquettes, en maintenant des températures constantes dans des tolérances serrées.L'étanchéité IP68 et la plage de température de -40°C à 85°C assurent la fiabilité dans les environnements de fabrication contrôlés, tandis que les signaux de rétroaction de défaut permettent l'intégration avec les systèmes de surveillance d'usine.l'OWP-BL43-450T prend en charge les besoins de gestion thermique exigeants des équipements de fabrication de plaquettes à semi-conducteurs, contribuant à une production stable et à une production de plaquettes de haute qualité.

Des dessins dimensionnels