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高精度PWM電動クーラントポンプ OWP-BL43-450T:半導体ウェーハ製造装置向けの信頼性の高い放熱

基本的な特性
原産地: 中国
ブランド名: Bextreme Shell
認定: CE
モデル番号: OWP-BL43-450T
取引物件
最低注文数量: 1
価格: 交渉可能
支払条件: T/T、ウェスタンユニオン
補給能力: 10000個/月
製品概要
精密PWM電気冷却液ポンプ OWP-BL43-450T:半導体ウェーファー製造機器のための信頼性の高い熱分散 OWP-BL43-450T電動冷却液ポンプは,半導体ウエファー製造機器の熱消耗のために設計された高性能熱管理ソリューションです.永久磁石のブラシレス技術で作られています,PWM速度調節とIP68完全密封保護このポンプは,半導体製造プロセスの超精密冷却要件を満たすために,安定した汚染物質のない流体循環を提供します.低騒音操作と強固な障害耐性により,クリーンで高信頼性の環境,設備の一貫した性能を確保し,ウエフルの生産品質を維持する. テクニカル仕様 パラメータ 詳細 電源入力24VDC ...

製品詳細

Product Name: 電動クーラントポンプ
Working Voltage: DC24V
Power Consumption: 250W
Pump Structure: 単段式遠心機
Pump Type: シールドポンプ
Performance: Q=6000L/h @H=8m
製品の説明

精密PWM電気冷却液ポンプ OWP-BL43-450T:半導体ウェーファー製造機器のための信頼性の高い熱分散

OWP-BL43-450T電動冷却液ポンプは,半導体ウエファー製造機器の熱消耗のために設計された高性能熱管理ソリューションです.永久磁石のブラシレス技術で作られています,PWM速度調節とIP68完全密封保護このポンプは,半導体製造プロセスの超精密冷却要件を満たすために,安定した汚染物質のない流体循環を提供します.低騒音操作と強固な障害耐性により,クリーンで高信頼性の環境,設備の一貫した性能を確保し,ウエフルの生産品質を維持する.

テクニカル仕様

パラメータ 詳細
電源入力24VDC (18-32VDC)
定数電源250W
定額流量6000L/H @ H=8M
最大流量9000L/h
最大持ち上げ頭11M
互換性のあるメディアグリコル (50-60%) + 水,ダイレクトオイル,電子フッ素溶液
中程度の温度範囲-40°Cから85°C
出口直径38mm
速度規制PWM
誤差フィードバック信号高級/低級
IPグレードIP68
騒音レベル≤60dB
奉仕 生活>20000時間

頭流量曲線

高精度PWM電動クーラントポンプ OWP-BL43-450T:半導体ウェーハ製造装置向けの信頼性の高い放熱 0

速度制御と故障フィードバックチャート

高精度PWM電動クーラントポンプ OWP-BL43-450T:半導体ウェーハ製造装置向けの信頼性の高い放熱 1

主要な技術的利点

  • 閉ざされたインペラー設計: 精密加工された閉ざされたインペラーは,内部流体の乱流と漏れを最小限に抑えます.騒音に敏感な半導体クリーンルームで安定した状態を維持するために重要な動作騒音 ≤60dBを保持しながら高いポンプ効率を達成する.
  • 永久磁石 ブラシなしの建築: コンパクトなフットプリントと低電力消費を組み合わせて,スペースが限られたウエファー製造機器にシームレスにフィットし,24/7の製造環境でエネルギー消費を削減します.
  • 超長寿命のシャフト組成: 高耐磨摩擦ペア材料を軸システムに利用し,半導体機器の長い保守サイクルに準拠するために20,000時間以上の連続動作をサポート.
  • 遠心型とシールド構造: モーターを冷却基質から隔離して,粒子汚染や流体漏れを防ぐ敏感なウエファー加工部品を損傷から保護し,クリーンルーム基準の遵守を保証する.
  • PWM デューティサイクルの速度制御: PWM信号で精密な流量調整が可能ワッフル製造プロセスの熱出力と冷却容量のダイナミックなマッチングを可能にする.
  • 総合的な保護と欠陥フィードバック:逆極性,過電圧,過電流,乾燥運転,過熱保護,高低レベルの故障フィードバックを備えていますシステムの安全を確保し,生産停止時間を最小限に抑えるための積極的な保守を可能にします..

半導体ウエファー製造機器の冷却における応用

OWP-BL43-450T 電動冷却液ポンプは,半導体ウエファー製造機器の熱消耗に特化したものです精密な温度制御が直接的にウエフルの出力と性能に影響を与える場合その 6000L/H の定量流量 (8M の頭部で) と 9000L/H の最大流量により,グリコール水混合物,介電油,リトグラフィーの熱を散らすために半導体工場の電源システムとアライナインする 24VDC ワイド電圧入力 (18-32VDC),38mm の出口直径が効率的な熱交換のために高容量の流体移転を容易にするPWM速度調節により,ポンプは,ワッフル加工中に異なる熱負荷に適応し,厳しい許容範囲内で一貫した温度を維持することができます.IP68 の防水評価と -40°C から 85°C の温度範囲は,制御された工場環境での信頼性を保証します工場の監視システムと統合できるようにします. コア冷却部品として,OWP-BL43-450Tは,半導体ウエファー製造機器の要求の高い熱管理ニーズに対応しています安定した生産と高品質のウエファー生産に貢献します

尺寸図

高精度PWM電動クーラントポンプ OWP-BL43-450T:半導体ウェーハ製造装置向けの信頼性の高い放熱 2

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