Bomba de refrigeração elétrica PWM de precisão OWP-BL43-450T: Dissipação de calor confiável para equipamentos de fabricação de wafer de semicondutores

Bomba de refrigeração elétrica PWM de precisão OWP-BL43-450T: Dissipação de calor confiável para equipamentos de fabricação de wafer de semicondutores

A bomba de refrigerante elétrico OWP-BL43-450T é uma solução de gerenciamento térmico de alto desempenho adaptada à dissipação de calor em equipamentos de fabricação de wafers de semicondutores.Construído com tecnologia sem escovas de ímã permanente, regulação de velocidade PWM e proteção IP68 totalmente selada,Esta bomba fornece uma circulação de fluidos estável e livre de contaminantes para atender aos requisitos de resfriamento de ultra-precisão dos processos de fabricação de semicondutoresO seu design compacto, baixo ruído e robusta tolerância a falhas tornam-no ideal para ambientes limpos e de alta fiabilidade de fábricas de wafer,assegurar o desempenho constante do equipamento e manter a qualidade da produção de wafers.

Especificações técnicas

Curva de fluxo da cabeça

Gráfico de controlo de velocidade e resposta de falhas

Principais vantagens técnicas

• Projeto do impulsionador fechado: O impulsionador fechado, com máquinas de precisão, minimiza a turbulência interna do fluido e as fugas,alcançar uma elevada eficiência de bombeamento, mantendo o ruído operacional ≤ 60 dB, essencial para manter condições estáveis em salas limpas de semicondutores sensíveis ao ruído.
• Construção sem escovas de ímã permanente: Combina uma pegada compacta com baixo consumo de energia, se encaixa perfeitamente em equipamentos de fabricação de wafer com espaço limitado e reduz o consumo de energia em ambientes de fabricação 24/7.
• Montagem de eixo de vida útil ultra longa: Utiliza materiais de par de atrito de alta resistência ao desgaste para o sistema de eixo, suportando mais de 20.000 horas de operação contínua para alinhar com os longos ciclos de manutenção de equipamentos de semicondutores.
• Estrutura centrífuga e blindada: Isola o motor do meio de arrefecimento para evitar a contaminação por partículas e a fuga de fluido,Proteção dos componentes sensíveis de processamento de wafers contra danos e garantia do cumprimento das normas de salas limpas.
• Controle de velocidade do ciclo de trabalho PWMPermite o ajuste preciso da taxa de fluxo através de sinais PWM,permitindo a correspondência dinâmica da capacidade de arrefecimento com a potência térmica dos processos de fabrico de wafer ̇ otimizando a estabilidade térmica durante as etapas críticas de fabrico.
• Proteção abrangente e feedback de falhas: Equipado com polaridade inversa, sobrevoltagem, sobrecorrente, secagem e proteção contra excesso de temperatura, mais retroalimentação de falhas de alto/baixo nível,assegurar a segurança do sistema e permitir a manutenção proativa para minimizar o tempo de inatividade da produção.

Aplicação no resfriamento de equipamentos de fabricação de wafer de semicondutores

A bomba de refrigerante elétrico OWP-BL43-450T é especificamente otimizada para a dissipação de calor em equipamentos de fabrico de wafers de semicondutores,Quando o controlo preciso da temperatura afeta directamente o rendimento e o desempenho da bolachaO seu caudal nominal de 6000L/H (a 8M de cabeça) e o caudal máximo de 9000L/H asseguram uma circulação eficiente dos meios de arrefecimento compatíveis, incluindo misturas de glicol-água, óleo dielétrico,e soluções fluoradas eletrónicas para dissipar o calor da litografiaA entrada de voltagem larga de 24VDC (18-32VDC) alinha-se com sistemas de energia de fábrica de semicondutores,enquanto o diâmetro da saída de 38 mm facilita a transferência de fluido de grande volume para uma troca de calor eficazA regulação da velocidade PWM permite que a bomba se adapte a diferentes cargas térmicas durante o processamento de wafer, mantendo temperaturas consistentes dentro de tolerâncias apertadas.A classificação de impermeabilidade IP68 e a faixa de temperatura de -40°C a 85°C garantem a fiabilidade em ambientes de fabrico controladosO sistema de refrigeração é um dos componentes principais do sistema de refrigeração, que permite a integração com os sistemas de monitorização da fábrica.O OWP-BL43-450T suporta as exigentes necessidades de gerenciamento térmico de equipamentos de fabricação de wafer de semicondutores, contribuindo para uma produção estável e para uma produção de wafers de alta qualidade.

Desenhos dimensional