Bơm làm mát điện PWM chính xác OWP-BL43-450T: Tản nhiệt đáng tin cậy cho thiết bị sản xuất tấm wafer bán dẫn

Bơm làm mát điện PWM chính xác OWP-BL43-450T: Tản nhiệt đáng tin cậy cho thiết bị sản xuất tấm wafer bán dẫn

Bơm làm mát điện OWP-BL43-450T là giải pháp quản lý nhiệt hiệu suất cao, được thiết kế riêng cho việc tản nhiệt trong thiết bị sản xuất tấm wafer bán dẫn. Được chế tạo với công nghệ không chổi than nam châm vĩnh cửu, điều chỉnh tốc độ PWM và bảo vệ kín hoàn toàn IP68, bơm này cung cấp lưu thông chất lỏng ổn định và không nhiễm bẩn để đáp ứng các yêu cầu làm mát siêu chính xác của quy trình sản xuất bán dẫn. Thiết kế nhỏ gọn, hoạt động êm ái và khả năng chịu lỗi mạnh mẽ làm cho nó lý tưởng cho môi trường sạch, độ tin cậy cao của nhà máy sản xuất tấm wafer, đảm bảo hiệu suất thiết bị nhất quán và duy trì chất lượng sản xuất tấm wafer.

Thông số kỹ thuật

Đường cong cột áp - lưu lượng

Biểu đồ điều khiển tốc độ & phản hồi lỗi

Ưu điểm kỹ thuật cốt lõi

• Thiết kế cánh quạt kín: Cánh quạt kín được gia công chính xác giúp giảm thiểu sự nhiễu loạn chất lỏng bên trong và rò rỉ, đạt hiệu quả bơm cao đồng thời giữ mức tiếng ồn hoạt động ≤60dB—điều quan trọng để duy trì điều kiện ổn định trong các phòng sạch bán dẫn nhạy cảm với tiếng ồn.
• Cấu tạo không chổi than nam châm vĩnh cửu: Kết hợp kích thước nhỏ gọn với mức tiêu thụ điện năng thấp, tích hợp liền mạch vào thiết bị sản xuất tấm wafer bị hạn chế về không gian và giảm tiêu thụ năng lượng trong môi trường sản xuất 24/7.
• Trục lắp ráp siêu bền: Sử dụng vật liệu cặp ma sát có khả năng chống mài mòn cao cho hệ thống trục, hỗ trợ hoạt động liên tục hơn 20.000 giờ để phù hợp với chu kỳ bảo trì dài của thiết bị bán dẫn.
• Cấu trúc ly tâm & được che chắn: Tách biệt động cơ khỏi môi trường làm mát để ngăn ngừa nhiễm bẩn hạt và rò rỉ chất lỏng, bảo vệ các thành phần xử lý tấm wafer nhạy cảm khỏi bị hư hại và đảm bảo tuân thủ các tiêu chuẩn phòng sạch.
• Điều khiển tốc độ chu kỳ nhiệm vụ PWM: Cho phép điều chỉnh lưu lượng chính xác thông qua tín hiệu PWM, cho phép điều chỉnh công suất làm mát động theo nhiệt lượng tỏa ra của quy trình sản xuất tấm wafer—tối ưu hóa sự ổn định nhiệt trong các bước sản xuất quan trọng.
• Bảo vệ toàn diện & phản hồi lỗi: Được trang bị bảo vệ chống phân cực ngược, quá áp, quá dòng, chạy khô và quá nhiệt, cùng với phản hồi lỗi mức cao/thấp, đảm bảo an toàn hệ thống và cho phép bảo trì chủ động để giảm thiểu thời gian ngừng sản xuất.

Ứng dụng trong làm mát thiết bị sản xuất tấm wafer bán dẫn

Bơm làm mát điện OWP-BL43-450T được tối ưu hóa đặc biệt cho việc tản nhiệt trong thiết bị sản xuất tấm wafer bán dẫn, nơi kiểm soát nhiệt độ chính xác ảnh hưởng trực tiếp đến năng suất và hiệu suất của tấm wafer. Lưu lượng định mức 6000L/H (ở cột áp 8M) và lưu lượng tối đa 9000L/H đảm bảo lưu thông hiệu quả các phương tiện làm mát tương thích—bao gồm hỗn hợp glycol-nước, dầu điện môi và dung dịch flo điện tử—để tản nhiệt từ các thiết bị quang khắc, khắc và lắng đọng. Đầu vào điện áp rộng 24VDC (18-32VDC) phù hợp với hệ thống điện của nhà máy bán dẫn, trong khi đường kính đầu ra 38mm tạo điều kiện truyền chất lỏng khối lượng lớn để trao đổi nhiệt hiệu quả. Điều chỉnh tốc độ PWM cho phép bơm thích ứng với tải nhiệt thay đổi trong quá trình xử lý tấm wafer, duy trì nhiệt độ ổn định trong dung sai chặt chẽ. Xếp hạng chống nước IP68 và phạm vi nhiệt độ -40℃ đến 85℃ đảm bảo độ tin cậy trong môi trường nhà máy được kiểm soát, trong khi tín hiệu phản hồi lỗi cho phép tích hợp với hệ thống giám sát nhà máy. Là một thành phần làm mát cốt lõi, OWP-BL43-450T hỗ trợ các nhu cầu quản lý nhiệt khắt khe của thiết bị sản xuất tấm wafer bán dẫn, góp phần vào sản xuất ổn định và đầu ra tấm wafer chất lượng cao.

Bản vẽ kích thước